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古川静二郎
【姓名】
古川静二郎
【职称】
【研究领域】
无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】
非接触测量,半导体晶片,迁移率,电导率,位置分辨率,电参数,静电感应,晶片,线圈,涡流法,微波法,电磁感应法,圆环,磁通,载流子浓度,非接触测量法,非接触法,压矿,电阻率,谐振电路,
【工作单位】
东京工业大学
【曾工作单位】
东京工业大学;
【所在地域】
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共找到1篇
[1]古川静二郎,王善慈.
非接触测量半导体晶片电参数的各种方法
[J]微电子学.1982,(05)
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