史建伟
【姓名】 史建伟
【职称】 副教授;
【研究领域】 自动化技术;无线电电子学;
【研究方向】 功率器件、真空微电子和微机械传感器的科研工作及集成电路制造技术的教学工作
【发表文献关键词】 硅尖端传感器,隧道加速度计,扭摆式,隧道加速度传感器,微加速度计,微机械加工,微硅,悬臂梁,亚微米,固支梁结构,挠性轴,加速度传感器,亚微米级,隧道效应,热电偶,隧道电极,加速度计,感器,执行器,敏度...
【工作单位】 东南大学
【曾工作单位】 东南大学;
【所在地域】 南京
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[1]陈德英,茅盘松,史建伟,熊涛,迟姗,张旭.微硅隧道加速度传感器设计[J]固体电子学研究与进展.2000,(04)
[2]陈德英,茅盘松,史建伟,熊涛,张旭,金肖科.扭摆式微硅隧道加速度传感器[J]电子器件.2001,(04)
[3]史建伟,陈德英.隧道加速度计的发展概况[J]电子器件.1999,(03)
[4]丁辛芳,何云爽,史建伟.亚微米级硅尖端传感器的研制[J]固体电子学研究与进展.1998,(03)
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