戚丽娜
【姓名】 戚丽娜
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;物理学;工业通用技术及设备;
【研究方向】 CMOS
【发表文献关键词】 多晶硅薄膜,瞬态特性,热扩散率,热扩散系数,时间常数,测试结构,热容,相位延迟,幅值,薄膜,表面加工,温度分布,测试方法,加热电流,瞬态电阻,测量方法,在线提取,电阻率,热导率,温度系数,测量相位,传...
【工作单位】 东南大学
【曾工作单位】 东南大学;
【所在地域】 湖北
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[1]戚丽娜;黄庆安;李伟华;.一种简单的表面加工多晶硅薄膜热扩散率在线测试结构[J]电子学报.2006,(08)
[2]戚丽娜;黄庆安;许高斌;李伟华;.表面加工多晶硅薄膜热扩散系数在线测试结构[J]仪器仪表学报.2006,(08)
[3]戚丽娜;黄庆安;李伟华;.薄膜热扩散率测量方法[J]电子器件.2007,(04)
[4]戚丽娜;许高斌;黄庆安;.范德堡多晶硅热导率的测试结构[J]固体电子学研究与进展.2005,(04)
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[1]戚丽娜;许高斌;.多晶硅薄膜热扩散率的测试结构[A].中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）.2005-08-01
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