支壮志
【姓名】 支壮志
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 ZnO薄膜,等离子增强化学气相沉积,二乙基锌,生长温度,等离子体增强,化学气相沉积,衬底温度,半高宽,物理研究所,中国科学院,反应源,激发态,光致发光谱,精密机械,衍射峰,Ｘ射线,薄膜质量,缺陷发光,...
【工作单位】 东北师范大学
【曾工作单位】 东北师范大学;
【所在地域】 长春
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[1]支壮志,李炳生,刘益春,吕有明,申德振,张吉英,孔祥贵,范希武.生长温度对等离子体增强化学气相沉积生长ZnO薄膜质量的影响[J]真空科学与技术.2002,(01)
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