廖道达
【姓名】 廖道达
【职称】
【研究领域】 核科学技术;材料科学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 离子束混合,两用机,离子注入,真空镀膜,表面改性,辐照,蒸镀,离子束,靶室,离子源,蒸发源,机械扫描,真空度,难熔元素,插板阀,PIG离子源,真空机组,溅射,流强,边引出,
【工作单位】 东北工学院
【曾工作单位】 东北工学院;
【所在地域】
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[1]孙桂琴;冯克强;廖道达;孙树滋;.FeSiAl合金的离子注入[J]贵金属.1981,(04)
[2]廖道达.离子注入与离子束混合两用机[J]核技术.1986,(08)
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