马利民
【姓名】 马利民
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;计算机软件及计算机应用;
【研究方向】
【发表文献关键词】 射频离子源,匹配网络,阻抗匹配,等离子体,负载电容,传输线,宽束,电感,源电阻,气体放电,调谐电容,支路,频率,离子束辅助,中和器,输入功率,匹配器,镀膜技术,射频放电,反应气体,
【工作单位】 东北大学
【曾工作单位】 东北大学;
【所在地域】 辽宁沈阳
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[1]马利民;尤大伟;巴德纯;.宽束射频离子源匹配网络[J]真空.2006,(05)
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