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张远红
【姓名】
张远红
【职称】
【研究领域】
无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】
凸投影,相移掩模,多相位,相位掩模,模函数,设计原理,掩模设计,像集,微细加工,光刻图形,投影,算法,凸集,光学技术,部分相干成像,光电技术,成像系统,量化方法,非负函数,国家重点实验室,
【工作单位】
电子科技大学
【曾工作单位】
电子科技大学;
【所在地域】
成都
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共找到1篇
[1]罗先刚,姚汉民,冯伯儒,陈旭南,周崇喜,李展,张远红.
基于凸投影算法的多相位掩模设计原理研究
[J]微细加工技术.2001,(01)
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