杨革
【姓名】 杨革
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 压电薄膜,平面磁控溅射,溅射,组织结构,AIN薄膜,表声,叉指电极,波速度,ZnO薄膜,叉指,藕合,机电,ZnO压电薄膜,溅射气体,波压,声速,压电,电器件,淀积速率,压电性质,
【工作单位】 电子科技大学
【曾工作单位】 电子科技大学;
【所在地域】 成都
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[1]曲喜新,杨革,严康宁.ZnO/AlN复合压电薄膜的研制[J]电子科技大学学报.1993,(03)
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