徐玉辉
【姓名】 徐玉辉
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 多层膜,非晶硅,微晶,氢化,扫描电镜,观察分析,切面,电镜,沉积速度,H膜,刻蚀作用,沉积过程,离子注,对抗性矛盾,沉积功率,悬挂键,沉积原理,界面结构,电子科技大学,Si,
【工作单位】 电子科技大学
【曾工作单位】 电子科技大学;
【所在地域】
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[1]惠恒荣,徐玉辉,唐方奎.α-Si:H多层膜切面电镜观察分析[J]电子科技大学学报.1990,(01)
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