励晔
【姓名】 励晔
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 束缚能,缺陷模型,退火过程,离子注入,数值模拟,间隙原子,退火时间,时间常数,硼原子,演化模型,杂质分布,异常分布,趋势一致,指数变化,分布变化,模型模拟,动力学方程,物理现象,异常变化,杂质,
【工作单位】 电子科技大学
【曾工作单位】 电子科技大学;
【所在地域】 成都
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[1]励晔,夏建新,安娜.退火过程中R_P缺陷模型及数值模拟[J]半导体学报.2005,(06)
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