吕玉山
【姓名】 吕玉山
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;金属学及金属工艺;
【研究方向】
【发表文献关键词】 边界悬伸,运动模拟,单晶硅片,压强分布,抛光,半导体晶片,研磨盘,平面度,研磨,研磨抛光,切痕,研磨和抛光,行星式,晶片,悬伸,磨粒,光过程,表面完整性,接触区域,磨料,抛光垫,夹具,压力场,护环,研...
【工作单位】 东北大学
【曾工作单位】 东北大学;
【所在地域】 沈阳
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中国期刊全文数据库    共找到2篇
[1]王军,孙军,杨信伟,吕玉山.晶片行星式研磨抛光机运动模拟的研究[J]机械设计与制造.2000,(02)
[2]王军,孙军,吕玉山.硅片边界悬伸法研磨和抛光技术的研究[J]机械设计与制造.2000,(05)
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中国重要会议全文数据库    共找到1篇
[1]孙军;王军;杨信伟;吕玉山;.单晶硅片的弹性变形法抛光新技术[A].制造业与未来中国——2002年中国机械工程学会年会论文集.2002-12-01
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