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单五桥
【姓名】
单五桥
【职称】
【研究领域】
电力工业;无机化工;
【研究方向】
【发表文献关键词】
TiO_2膜,沉积速率,磁控溅射法,充氧,充氧条件,透射率,理化性能,溅射,膜组分,玻璃样品,阳光控制膜玻璃,直流反应磁控溅射,深度分布,断氧,溅射时间,3层膜,金属状态,钛靶,玻璃基片,磁控,
【工作单位】
东北大学
【曾工作单位】
东北大学;
【所在地域】
沈阳
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共找到1篇
[1]信觉俗,单五桥.
间断充氧提高TiO_2膜沉积速率的研究
[J]表面技术.1999,(02)
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