廖家轩
【姓名】 廖家轩
【职称】 教授;研究员;
【研究领域】 工业通用技术及设备;材料科学;电力工业;
【研究方向】 电子薄膜材料研究
【发表文献关键词】 BST薄膜,无机陶瓷,锶钡,薄膜结构,钛酸,退火工艺,保温时间,退火气氛,表面粗糙度,循环次数,固体电子学,晶粒,电子科技大学,晶化,结晶程度,晶粒大小,Pt/Ti,微电,退火温度,RF磁控溅射,
【工作单位】 电子科技大学
【曾工作单位】 电子科技大学;
【所在地域】 成都
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