郑晓娟
【姓名】 郑晓娟
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;材料科学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 结晶特性,AlN薄膜,表面形貌,沉积温度,纳米,氮化铝,磁控溅射,生长温度,反应磁控溅射,晶粒尺度,卢瑟福背散射,FTIR,原子力显微镜,透射电子显微镜,射频,折射率,纳米薄膜,表面粗糙度,表征,平滑...
【工作单位】 大连理工大学
【曾工作单位】 大连理工大学;
【所在地域】 辽宁大连
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[1]郑晓娟,王娟,李善锋,张庆瑜.生长温度对纳米AlN薄膜的表面形貌和结晶特性的影响[J]功能材料.2005,(01)
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