姚娉
【姓名】 姚娉
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;金属学及金属工艺;
【研究方向】 生物芯片技术
【发表文献关键词】 各向异性腐蚀,MEMS加工工艺,计算机模拟模型,OpenGL三维技术,硅原子,温度,硅衬底,腐蚀液浓度,晶向,物理模型,原子键,单晶,晶面,动态模拟,腐蚀速率,腐蚀过程,表面激活,建立,OpenGL技...
【工作单位】 大连理工大学
【曾工作单位】 大连理工大学;
【所在地域】 辽宁大连
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[1]姚娉,闫卫平,马灵芝,杜立群,郭吉洪.单晶硅各向异性腐蚀的微观动态模拟[J]微纳电子技术.2005,(06)
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[1]姚娉.单晶硅各向异性腐蚀的计算机微观模拟[D].大连理工大学.2005
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