田业冰
【姓名】 田业冰
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;金属学及金属工艺;
【研究方向】 精密超精密加工技术、计算机仿真技术等方面的研究
【发表文献关键词】 硅片,磨削,超精密磨,超精密磨削,大直径硅片,自旋转,超精密磨床,集成电路(IC),磨床,砂轮,金刚石砂轮,超精密,材料去除率,磨削纹理,运动几何学,磨削技术,运动轨迹,面型精度,背面减薄,集成电路,...
【工作单位】 大连理工大学
【曾工作单位】 大连理工大学;
【所在地域】 辽宁大连
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[1]康仁科,田业冰,郭东明,金洙吉.大直径硅片超精密磨削技术的研究与应用现状[J]金刚石与磨料磨具工程.2003,(04)
[2]董志刚,田业冰,康仁科,郭东明,金洙吉.硅片超精密磨床的发展现状[J]电子工业专用设备.2004,(06)
[3]田业冰,郭东明,康仁科,金洙吉.大尺寸硅片自旋转磨削的试验研究[J]金刚石与磨料磨具工程.2004,(04)
[4]田业冰,金洙吉,康仁科,郭东明.硅片自旋转磨削的运动几何学分析[J]中国机械工程.2005,(20)
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[1]田业冰;郭东明;康仁科;金洙吉;.大尺寸硅片自旋转磨削的试验研究[A].全国生产工程第九届年会暨第四届青年科技工作者学术会议论文集（二）.2004-06-01
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