沈宝宏
【姓名】 沈宝宏
【职称】
【研究领域】 自动化技术;无线电电子学;金属学及金属工艺;
【研究方向】
【发表文献关键词】 机构,数控,步进电机,单片机,集成电路制造,硅片机器人传输系统,预对准装置,硅片传输单元,洁净系统,结构设计,机器人,喷水装置,控制技术,旋转运动,微控制器,洁净度,控制方式,气流组织,二维,运动控制...
【工作单位】 大连理工大学
【曾工作单位】 大连理工大学;
【所在地域】 辽宁大连
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中国期刊全文数据库    共找到3篇
[1]丛明;沈宝宏;杜宇;金立刚;.二维数控机构的设计与应用[J]组合机床与自动化加工技术.2006,(06)
[2]丛明;杜宇;沈宝宏;.硅片传输单元洁净系统的研制[J]半导体技术.2006,(09)
[3]丛明;杜宇;沈宝宏;金立刚;.面向IC制造的硅片机器人传输系统综述[J]机器人.2007,(03)
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[1]沈宝宏.面向IC制造的净化机器人的研究与设计[D].大连理工大学.2006
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