司马媛
【姓名】 司马媛
【职称】
【研究领域】 物理学;无线电电子学;工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 激光清洗,硅片,清洗效率,Al2O3颗粒,激光能量密度,清洗阈值,理论分析,准分子激光器,激光束,入射角度,增强效应,基体,干法清洗,理论预测,表面温度,粘附力,有限元分析软件,脉冲,试验,热膨胀机理,
【工作单位】 大连理工大学
【曾工作单位】 大连理工大学;
【所在地域】 辽宁大连
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中国期刊全文数据库    共找到2篇
[1]吴东江;许媛;王续跃;康仁科;司马媛;胡礼中;.激光清洗硅片表面Al_2O_3颗粒的试验和理论分析[J]光学精密工程.2006,(05)
[2]王续跃;许卫星;司马媛;吴东江;康仁科;郭东明;.利用图像处理技术评价硅片表面清洗率[J]光学精密工程.2007,(08)
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[1]司马媛.激光清洗硅片表面颗粒沾污的试验研究[D].大连理工大学.2006
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