刘天伟
【姓名】 刘天伟
【职称】
【研究领域】 物理学;工业通用技术及设备;材料科学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 等离子体增强,溅射,等离子体密度,磁控,ECR等离子体,朗缪尔探针,电子温度,DLC膜,微波ECR等离子体,非平衡,辅助沉积,ZrN薄膜,薄膜结构,PSII,朗谬尔探针,探针诊断,微波,朗缪尔,性能研...
【工作单位】 大连理工大学
【曾工作单位】 大连理工大学;
【所在地域】 四川大连
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/11 7 7 6 66 1897
中国期刊全文数据库    共找到7篇
[1]刘天伟;鲜晓斌;武胜;董闯;.不同偏压下铀表面多弧离子镀TiN薄膜性能研究[J]稀有金属材料与工程.2006,(09)
[2]刘天伟,邓新禄,王小英,王英敏,董闯.微波-ECR等离子体辅助沉积Zr-N薄膜结构和性能研究[J]真空科学与技术学报.2004,(05)
[3]王金刚,邓新绿,刘天伟,孙超,徐军.PSII系统中微波ECR等离子体的朗缪尔探针诊断[J]核聚变与等离子体物理.2004,(04)
[4]张治国,陈小锰,刘天伟,徐军,邓新禄,董闯.Langmuir探针诊断微波ECR非平衡磁控溅射等离子体[J]真空科学与技术学报.2005,(02)
[5]陈小锰,邓新绿,张治国,刘天伟,丁万昱,徐军.微波ECR等离子体特性及其对DLC膜性能的影响[J]真空科学与技术学报.2005,(02)
[6]刘天伟,董闯,邓新禄,陈曦.偏压对ECR-微波等离子增强沉积ZrN薄膜的结构及性能的影响[J]核技术.2005,(06)
[7]张治国,刘天伟,徐军,邓新禄,董闯.MW-ECR PE-UMS等离子体特性及对Zr-N薄膜结构性能的影响[J]物理学报.2005,(07)
更多
中国博士学位论文全文数据库    共找到1篇
[1]刘天伟.铀表面离子镀氮化物防护薄膜研究[D].大连理工大学.2006
更多
中国优秀硕士学位论文全文数据库    共找到1篇
[1]刘天伟.煤矿信息管理与智能地图系统的设计与实现[D].大连理工大学.2013
更多
中国重要会议全文数据库    共找到2篇
[1]刘天伟;邓新绿;王小英;董闯;.ECR—微波等离子体增强沉积ZrN_x薄膜结构及抗蚀性能研究[A].TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集.2003-09-01
[2]张治国;刘天伟;徐军;董闯;邓新禄;.MW-ECR PE-UMS制备TiN薄膜及其结构与性能[A].2004年中国材料研讨会论文摘要集.2004-11-01
更多