马腾才
【姓名】 马腾才
【职称】
【研究领域】 物理学;金属学及金属工艺;材料科学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 非平衡磁控溅射,ICP增强电离,薄膜沉积,等离子体增强,沉积技术,表面形貌,射频溅射,基片,电感耦合,离子流密度,磁控溅射沉积,膜基界面,磁场分布,织构,射频功率,电离率,沉积物流,有效解决,真空度,...
【工作单位】 大连理工大学
【曾工作单位】 大连理工大学;
【所在地域】 大连
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中国期刊全文数据库    共找到20篇
[1]张禹涛;任春生;马腾才;齐冰;王坤;刘峰;吴静;.RC-Coupled Atmospheric Glow Discharge in Air[J]Plasma Science and Technology.2006,(04)
[2]吴迪;宫野;刘金远;王晓钢;刘跃;马腾才;.Numerical Research on Plasma Generation and Expansion into Vacuum[J]Plasma Science and Technology.2006,(05)
[3]王达望;马腾才;.Novel Plasma Reactor with Rotary Helix Electrode Used in Coupling of CH_4 at Atmospheric Pressure[J]Plasma Science and Technology.2006,(05)
[4]尹美强;马腾才;张家良;黄明镜;马步洲;.The Effect of High-Pressure Arc Discharge Plasma on the Degradation of Chlorpyrifos[J]Plasma Science and Technology.2006,(06)
[5]齐雪莲;任春生;张健;马腾才;.Optical Emission Spectroscopic Studies of ICP Ar Plasma[J]Plasma Science and Technology.2007,(05)
[6]张禹涛;任春生;徐振峰;马腾才;齐冰;王德真;王友年;.Transition from Spark Discharge to Constricted Glow Discharge in Atmospheric Air by Capacitor Coupled Discharge[J]Plasma Science and Technology.2007,(05)
[7]齐雪莲;任春生;马腾才;王友年;.Cu Films Deposited by Unbalanced Magnetron Sputtering Enhanced by ICP and External Magnetic Field Confinement[J]Plasma Science and Technology.2008,(03)
[8]武洪臣;马国佳;彭丽平;冯建基;张华芳;马腾才;.A Method for Measurement of Dynamic Sheath Behavior in Plasma Immersion Ion Implantation and Deposition Process[J]Plasma Science and Technology.2008,(05)
[9]吕晓桂;任春生;马腾才;朱海龙;王德真;.The Effect of the Quartz Tube on the Appearance of Nanosecond Pulsed Discharge in Air[J]Plasma Science and Technology.2010,(02)
[10]吕晓桂;任春生;马腾才;冯岩;王德真;.An Atmospheric Large-Scale Cold Plasma Jet[J]Plasma Science and Technology.2012,(09)
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中国重要会议全文数据库    共找到7篇
[1]梅显秀;王存霞;王忠;孙文飞;郝胜智;武洪臣;秦颖;董闯;马腾才;.强流脉冲电子束辐照对NiCoCrAlY涂层结构和性能的影响[A].TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集.2009-08-15
[2]齐雪莲;马腾才;.外切磁场对ICP增强非平衡磁控溅射沉积Cu的影响[A].第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集.2009-07-20
[3]王达望;马腾才;.新型大气压放电等离子体发生器在甲烷偶联方面的应用研究[A].第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集.2009-07-20
[4]梅显秀;王忠;王存霞;孙文飞;郝胜智;武洪臣;秦颖;董闯;马腾才;.强流脉冲电子束辐照对NiCoCrAlY涂层微结构和耐氧化性能的影响[A].第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集.2009-07-20
[5]梅显秀;孙文飞;王友年;马腾才;.强流脉冲离子束辐照YSZ热障涂层表面改性[A].2010全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集.2010-06-30
[6]梅显秀;刘越;王存霞;王友年;马腾才;.强流脉冲电子束辐照对电子束物理气相沉积YSZ结构和性能的影响[A].第十五届全国等离子体科学技术会议会议摘要集.2011-08-08
[7]王达望;巩水利;武洪臣;李淑青;马国佳;孙刚;马腾才;.辉光等离子体放电甲烷偶联的光谱研究[A].中国真空学会2012学术年会论文摘要集.2012-09-21
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承担国家科研项目    共找到2个
[1]马腾才;.大气压直流辉光放电等离子体不稳定性及控制研究[A].大连理工大学;.项目经费 36万元.2004-03-31.资助文献数 2
[2]马腾才;.大气下负电晕放电转变成辉光放电等离子体的机理研究[A].大连理工大学;.项目经费 20万元.2001-03-31.资助文献数 5
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