李绮
【姓名】 李绮
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 薄膜,微波等离子体,ECR微波等离子体,氯化铝,氮化铝,溅射沉积,轰击清洗,结合力,氮分压,氨化铝,氮化铝膜,氮气分压,沉积率,微波功率,铝膜,纯氨,放电室,折射率,沉积温度,试样台,
【工作单位】 大连理工大学
【曾工作单位】 大连理工大学;
【所在地域】 辽宁沈阳市
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/1 0 0 1 1 35
中国期刊全文数据库    共找到1篇
[1]李绮,张仲麟,王大庸.ECR微波等离子体溅射沉积氮化铝的研究[J]真空.1991,(02)
更多