刘云月
【姓名】 刘云月
【职称】
【研究领域】 机械工业;金属学及金属工艺;
【研究方向】
【发表文献关键词】 基片负偏压,等离子体增强,膜基结合力,离子镀,溅射,磁控,高速钢基体,结合力,界面膜,TiN涂层,PEMS,基片偏压,刻痕,刻痕试验,涂层,阴极鞘层,伪扩散,刀具涂层,镀钛,过渡区,
【工作单位】 大连理工大学
【曾工作单位】 大连理工大学;
【所在地域】
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[1]王玉魁，韩会民，高路斯，王传思，刘云月.基片负偏压对PEMSIP法高速钢基体TiN涂层结合力的影响[J]机械工程材料.1995,(02)
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