李路明
【姓名】 李路明
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 形状记忆薄膜,光刻,TiNi,Ni薄膜,Pt薄膜,MEMS,腐蚀剂,掩膜,腐蚀掩膜,负性胶,光刻工艺,HNO3,溅射,配比,腐蚀特性,Si基,漂起,腐蚀速率,光刻胶,光敏聚酰亚胺,
【工作单位】 大连理工大学
【曾工作单位】 大连理工大学;
【所在地域】 大连
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[1]曲炳郡,夏善红,李路明,王立鼎.TiNi形状记忆薄膜的光刻新工艺[J]仪器仪表学报.2001,(S2)
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[1]曲炳郡;夏善红;李路明;王立鼎;.TiNi形状记忆薄膜的光刻新工艺[A].中国仪器仪表学会第三届青年学术会议论文集（下）.2001-08-01
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