陈小锰
【姓名】 陈小锰
【职称】
【研究领域】 物理学;材料科学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 DLC膜,朗谬尔探针,等离子体密度,磁控,微波ECR等离子体,溅射,电子温度,子体,朗缪尔探针,探针诊断,非平衡,类金刚石膜,电子回旋共振,Langmuir,等离子体,性能的影响,功率变化,微波,等离...
【工作单位】 大连理工大学
【曾工作单位】 大连理工大学;
【所在地域】 大连
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[1]张治国,陈小锰,刘天伟,徐军,邓新禄,董闯.Langmuir探针诊断微波ECR非平衡磁控溅射等离子体[J]真空科学与技术学报.2005,(02)
[2]陈小锰,邓新绿,张治国,刘天伟,丁万昱,徐军.微波ECR等离子体特性及其对DLC膜性能的影响[J]真空科学与技术学报.2005,(02)
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[1]陈小锰.硅掺杂-DLC硬盘保护膜的制备及等离子体诊断[D].大连理工大学.2005
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[1]陈小锰;徐军;邓新绿;朴勇;高鹏;董闯;.Si掺杂对DLC薄膜结构和性能的影响[A].2004年中国材料研讨会论文摘要集.2004-11-01
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