赵文军
【姓名】 赵文军
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;材料科学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 离子束辅肋沉积,Al2O3薄膜,沉积温度,物理特性,辅助沉积,微观结构,Al_2O_3薄膜,离子束,微观状态,膜基结合强度,非晶,表面粗糙度,膜的成分,显微硬度,电子衍射图,退火处理,退火条件,透射电...
【工作单位】 大连理工大学
【曾工作单位】 大连理工大学;
【所在地域】 大连
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[1]张庆瑜,赵文军,王平生,王亮,徐久军,朱剑豪.离子束辅助沉积Al_2O_3薄膜的微观状态及其物理特性研究[J]真空科学与技术.2003,(02)
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[2]赵文军.掺Er光波导Al_2O_3薄膜的微观状态研究[D].大连理工大学.2000
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