张虹霞
【姓名】 张虹霞
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;无线电电子学;物理学;
【研究方向】 微器件薄膜特性方面的研究
【发表文献关键词】 非平衡磁控溅射,电子隧穿,薛定谔方程,类金刚石膜,隧穿几率,等离子体源,电子回旋共振,DLC膜,薄膜电子,数值计算,微波ECR等离子体,势垒,数值计算方法,波函数,制备与表征,双势垒,共振隧穿,势垒形...
【工作单位】 大连理工大学
【曾工作单位】 大连理工大学;
【所在地域】 辽宁大连
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[1]李新,唐祯安,邓新绿,徐军,张虹霞,杨梅.微波ECR等离子体源增强非平衡磁控溅射DLC膜的制备与表征[J]功能材料.2004,(03)
[2]张虹霞,唐祯安.薄膜电子隧穿几率的数值计算方法[J]微电子学.2004,(03)
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[1]张虹霞;唐祯安;黄正兴;申爽;.从头算方法研究SnO_2薄膜的能带和电子结构[A].TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集.2003-09-01
[2]唐祯安;黄正兴;丁海涛;张虹霞;.MEMS中薄膜热物性的分子动力学模拟[A].TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集.2003-09-01
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