学者知网节

【姓名】	宋巧丽
【职称】
【研究领域】	物理学;工业通用技术及设备;无机化工;
【研究方向】
【发表文献关键词】	尘埃颗粒,碳化硅膜,尘埃等离子体,电荷量的测量,尘埃空洞,尘埃云,射频等离子体,气相沉积,电荷量,实验研究,子体,等离子体,碳化硅薄膜,气压,射频功率,等离子体鞘层,鞘层,实验结果,气相沉积法,碳硅,...
【工作单位】	大连理工大学
【曾工作单位】	大连理工大学;
【所在地域】	大连

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[1]宋巧丽,张鹏云,王德真,张家良,李德君.测量等离子体中尘埃颗粒电荷量的实验方法[J]真空.2004,(01)

[2]吴静,张鹏云,宋巧丽,张家良,王德真.反应等离子体中尘埃空洞形成的实验研究[J]物理学报.2005,(10)

[3]宋巧丽,王德真,张鹏云,张家良.常温下采用射频等离子体法合成碳化硅膜[J]真空.2005,(02)

中国优秀硕士学位论文全文数据库 共找到1篇

中国重要会议全文数据库 共找到1篇

[1]张鹏云;吴静;宋巧丽;王德真;.用尘埃等离子体沉积碳化硅薄膜的研究[A].TFC'07全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集.2007-08-01

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