曲钢
【姓名】 曲钢
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】 等离子体在微电子领域中的应用
【发表文献关键词】 RHEED,量子点,GaN,清洗,氮化,氮化物,GaN薄膜,砷化物,ECR-PEMOCVD,蓝宝石,蓝宝石衬底,实时监控,制备工艺,氮等离子体,外延生长,底分,标准温度,缓冲层,生长影响,Al2O3,...
【工作单位】 大连理工大学
【曾工作单位】 大连理工大学;
【所在地域】 辽宁大连
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/6 5 4 3 21 1098
中国期刊全文数据库    共找到5篇
[1]郎佳红,顾彪,徐茵,秦福文,曲钢.标准温度和衬底分步清洗对GaN初始生长影响RHEED研究[J]红外技术.2003,(06)
[2]曲钢,徐茵,顾彪,秦福文,郎佳红.镓基砷化物、氮化物量子点研究进展[J]电子元件与材料.2004,(01)
[3]郎佳红,顾彪,徐茵,秦福文,曲钢.ECR-PEMOCVD生长GaN RHEED图像研究[J]应用激光.2004,(01)
[4]曲钢,徐茵.GaN薄膜生长实时监控系统的实现[J]半导体技术.2004,(09)
[5]郎佳红,顾彪,徐茵,秦福文,曲钢.蓝宝石衬底分步清洗及其对后续氮化的影响[J]半导体技术.2005,(01)
更多
中国优秀硕士学位论文全文数据库    共找到1篇