曲炳郡
【姓名】 曲炳郡
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;无线电电子学;仪器仪表工业;
【研究方向】 微电子、硅微机械技术以及SMA等功能材料在MEMS中的应用
【发表文献关键词】 单元互联,形状记忆合金薄膜/微夹持器,过程准可控,过程不可控,形状记忆薄膜,薄膜,冷轧,光刻,Ni薄膜,TiNi,形状记忆合金,微型机电系统,Pt薄膜,溅射,微驱动器,MEMS,原子力显微镜,合金薄膜...
【工作单位】 大连理工大学
【曾工作单位】 大连理工大学;
【所在地域】 大连
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[1]曲炳郡,李路明,张玉玲,王立鼎.形状记忆合金薄膜微驱动器过程准可控研究[J]大连理工大学学报.2001,(01)
[2]曲炳郡,夏善红,李路明,王立鼎.TiNi形状记忆薄膜的光刻新工艺[J]仪器仪表学报.2001,(S2)
[3]曲炳郡,刘晓鹏,李路明,王立鼎.用于微机械的形状记忆合金薄膜工艺研究[J]中国机械工程.2002,(01)
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[1]曲炳郡;夏善红;李路明;王立鼎;.TiNi形状记忆薄膜的光刻新工艺[A].中国仪器仪表学会第三届青年学术会议论文集（下）.2001-08-01
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