廖勇泉
【姓名】 廖勇泉
【职称】
【研究领域】 金属学及金属工艺;
【研究方向】
【发表文献关键词】 磁控,溅射,离子镀,等离子体增强,TiN涂层,相组,涂层,氮分压,氮化钛,等离子体,涂层工艺,层相,PEMS,基片偏压,涂层刀具,N和,硬度,划痕试验,电子衍射花样,王玉,两相组成,刀具涂层,切削力,...
【工作单位】 大连理工大学
【曾工作单位】 大连理工大学;
【所在地域】
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[1]王玉魁，李秀兰，王秀敏，高路斯，廖勇泉，韩会民.PEMSIP法Ti_2N和TiN两相涂层工艺研究[J]大连理工大学学报.1996,(01)
[2]王玉魁，韩会民，高路斯，廖勇泉.等离子体增强磁控溅射离子镀TiN涂层的研究[J]真空.1996,(01)
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