学者知网节

中国期刊全文数据库 共找到24篇

[1]高卓瑶;董婉;田崇彪;蒋星照;戴忠玲;宋远红;.Discharge mode and particle transport in radio frequency capacitively coupled Ar/O_2 plasma discharges[J]Chinese Physics B.2024,(09)

[2]宋柳琴;贾文柱;董婉;张逸凡;戴忠玲;宋远红;.容性耦合放电等离子体增强氧化硅薄膜沉积模拟研究[J]物理学报.2022,(17)

[3]董婉;徐海文;戴忠玲;宋远红;王友年;.电非对称双频容性耦合CF_4/Ar放电电极间距对放电模式和刻蚀剖面的影响[J]物理学报.2021,(09)

[4]左春彦;高飞;戴忠玲;王友年;.高功率微波输出窗内侧击穿动力学的PIC/MCC模拟研究[J]物理学报.2018,(22)

[5]麻晓琴;张赛谦;戴忠玲;王友年;.Study on atomic layer etching of Si in inductively coupled Ar/Cl_2 plasmas driven by tailored bias waveforms[J]Plasma Science and Technology.2017,(08)

[6]王喜凤;宋远红;赵书霞;戴忠玲;王友年;.Hybrid Simulation of Duty Cycle Influences on Pulse Modulated RF SiH_4/Ar Discharge[J]Plasma Science and Technology.2016,(04)

[7]眭佳星;张赛谦;刘增;阎军;戴忠玲;.A Multi-Scale Study on Silicon-Oxide Etching Processes in C_4F_8/Ar Plasmas[J]Plasma Science and Technology.2016,(06)

[8]刘增;戴忠玲;贺才强;王友年;.Effects of Tailed Pulse-Bias on Ion Energy Distributions and Charging Effects on Insulating Substrates[J]Plasma Science and Technology.2015,(07)

[9]郝美兰;戴忠玲;王友年;.Effects of Low-Frequency Source on a Dual-Frequency Capacitive Sheath near a Concave Electrode[J]Plasma Science and Technology.2014,(04)

更多

中国博士学位论文全文数据库 共找到1篇

[1]戴忠玲.射频及脉冲偏压等离子体鞘层流体动力学模拟[D].大连理工大学.2004

更多

中国重要会议全文数据库 共找到9篇

[1]王喜凤;宋远红;戴忠玲;王友年;.射频容性耦合SiH4/Ar放电中反转电场及电子能量分布的模拟[A].第十八届全国等离子体科学技术会议摘要集.2017-07-26

[2]张赛谦;杨雪;戴忠玲;王友年;.反应物输运与Ar/C4F8等离子体中SiO2刻蚀的精度控制[A].第十八届全国等离子体科学技术会议摘要集.2017-07-26

[3]刘佳;阎军;戴忠玲;宋亦旭;.C_4F_8/AR混合气体刻蚀SiO_2的多目标优化研究[A].中国力学大会-2015论文摘要集.2015-08-16

[4]王帅;徐翔;戴忠玲;王友年;.双频电容耦合等离子体物理特性的一维流体力学/Monte-Carlo混合模拟[A].第十三届全国等离子体科学技术会议论文集.2007-08-20

[5]毕振华;戴忠玲;徐翔;李志成;王友年;.CF_4/Ar混合气体放电特性的数值模拟[A].第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集.2009-07-20

[6]张弘;戴忠玲;王友年;.基于水平集方法的刻蚀剖面演化的研究[A].第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集.2009-07-20

[7]郝美兰;戴忠玲;王友年;.带柱形凹槽电极表面双频偏压等离子体鞘层物理特性的研究[A].第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集.2009-07-20

[8]赵占强;戴忠玲;王友年;.射频等离子体刻蚀SiO_2的数值研究[A].第十五届全国等离子体科学技术会议会议摘要集.2011-08-08

[9]张赛谦;戴忠玲;宋远红;王友年;.双频容性耦合Ar/CF_4等离子体中双频源参数对刻蚀微观不均匀性影响的研究[A].第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会会议摘要集.2013-08-15

更多

承担国家科研项目 共找到2个

[1]戴忠玲;.双频电容耦合放电等离子体流体动力学数值模拟[A].大连理工大学;.项目经费 28万元.2005-03-31.资助文献数 2 篇

[2]戴忠玲.反应离子刻蚀微观不均匀性的跨尺度研究[A].大连理工大学.项目经费 33万元.2009-03-20.资助文献数 0 篇

更多

【姓名】	戴忠玲
【职称】
【研究领域】	物理学;无线电电子学;电力工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】	鞘层,离子,退磁/冲击,振动,磁稳定性,永磁体,Fe-Cr-Co,退磁,射频,流体力学,射频等离子体,动力学模,机械力,磁性,离子密度,离子流密度,饱和充磁,振动时间,磁体,振动杆,冲击量,离子流,电...
【工作单位】	大连理工大学
【曾工作单位】	大连理工大学;
【所在地域】	大连

今年新增/文献篇数	核心期刊论文数	基金论文数	第一作者篇数	总被引频次	总下载频次
0/31	3	18	10	157	5415