马灵芝
【姓名】 马灵芝
【职称】
【研究领域】 物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 多晶硅薄膜,淀积温度,半导体器件,硅烷,生长速率,检测方法,反应室,多晶硅,淀积多晶硅,硼烷,浮子流量计,运载气体,汽相淀积,表面反应控制,晶粒,反应气体,掺磷,磷烷,二氧化硅层,干涉显微镜,
【工作单位】 大连工学院
【曾工作单位】 大连工学院;
【所在地域】
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[1]魏希文,马灵芝,牛德芳.半导体器件中的优质多晶硅薄膜的生长及其检测方法[J]大连工学院学报.1982,(04)
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