S.Miyake
【姓名】 S.Miyake
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 闭式,SrTiO3,电子回旋共振,溅射,等离子体,电子回旋共振等离子体,低温沉积,SrTiO_3,微波,Ar等离子体,Pt/Ti,Ar与O2,溅射方法,电炉加热,Si基片,微波辐射,介电常数,退火处理...
【工作单位】 大阪大学
【曾工作单位】 大阪大学;
【所在地域】
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[1]蔡长龙,刁东风,T.Matsumoto,S.Miyake.封闭式电子回旋共振等离子体低温沉积SrTiO_3膜[J]西安工业学院学报.2004,(03)
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