周智猛
【姓名】 周智猛
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;自动化技术;
【研究方向】 GaN生长与特性研究
【发表文献关键词】 反射高能电子衍射,ECR-MOCVD,半导体薄膜,GaN薄膜,VB60,外延生长,氮化,实时监测,GaAs衬底,底表面,实时监控系统,表面生长,氢等离子体清洗,纯氢,MSCOMM,应用电子技术,生长工...
【工作单位】 大连理工大学
【曾工作单位】 大连理工大学;
【所在地域】 辽宁大连
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[1]刘国涛,徐茵,顾彪,秦福文,周智猛.在GaAs衬底表面生长GaN过程中的氮化新方法[J]半导体光电.2003,(01)
[2]周智猛,徐茵,刘国涛.半导体薄膜生长实时监控系统的设计与应用[J]计算机测量与控制.2003,(08)
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