学者知网节

中国期刊全文数据库 共找到40篇

[1]张丽娜;高飞;陆文琪;.玻璃表面中频磁控溅射制备氮化铝薄膜的晶面择优取向调控[J]真空科学与技术学报.2024,(12)

[2]高可心;张文兰;陆文琪;.程控操作数据采集卡实现高时间分辨等效采样[J]信息技术与信息化.2023,(11)

[3]李建泉;马海杰;陆文琪;.Plasma potential measurements using an emissive probe made of oxide cathode[J]Chinese Physics B.2024,(04)

[5]王明磊;张林;陆文琪;林国强;.Plasma diagnosis of tetrahedral amorphous carbon films by filtered cathodic vacuum arc deposition[J]Plasma Science and Technology.2023,(06)

[6]陆文琪;汤元真;.简化三探针方法用于瞬态等离子体诊断的局限性[J]物理实验.2023,(07)

[7]陆文琪;高可心;.磁控溅射参数对氧化钨薄膜结晶性的影响[J]青海师范大学学报(自然科学版).2023,(02)

[9]黄佳楠;陆文琪;徐军;.双靶共溅射沉积碳掺杂AlN薄膜的光学性能研究[J]真空科学与技术学报.2022,(07)

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中国重要会议全文数据库 共找到13篇

[1]李建泉;陆文琪;徐军;.基于虚拟仪器的自动发射探针诊断装置[A].第十八届全国等离子体科学技术会议摘要集.2017-07-26

[2]姜巍;毕振华;李志成;常大磊;杨烁;徐翔;李小松;陆文琪;徐勇;朱爱民;王友年;.双频容性耦合等离子体研究进展[A].第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集.2009-07-20

[3]杨烁;陆文琪;李志诚;姜巍;常大磊;王友年;.使用双探针诊断短间隙双频容性耦合放电等离子体[A].第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集.2009-07-20

[4]王明娥;陆文琪;孙文立;徐军;董闯;.同轴双放电腔微波ECR等离子体源增强非平衡磁控溅射制备SiN_x薄膜研究[A].第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集.2009-07-20

[5]孙文立;光磊;陆文琪;徐军;.沉积偏压及N2流量对a-CNx膜成分、结构和性能的影响[A].第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集.2009-07-20

[6]刘永新;张权治;姜巍;侯璐景;蒋相站;陆文琪;王友年;.双频容性耦合等离子体无碰撞电子反弹共振加热实验与模拟研究[A].第十五届全国等离子体科学技术会议会议摘要集.2011-08-08

[7]庞见华;陆文琪;王行行;贺佳;辛煜;徐军;.微波ECR等离子体增强溅射沉积类金刚石薄膜的在线诊断[A].第十五届全国等离子体科学技术会议会议摘要集.2011-08-08

[8]林国强;吴爱民;王存山;郝胜智;徐军;陆文琪;马春雨;秦福文;韩志韵;董闯;.三束实验室产业化表面技术与装备[A].中国真空学会2012学术年会论文摘要集.2012-09-21

[9]张文兰;陆文琪;.脉冲放电等离子体参数的高时间分辨静电探针诊断技术[A].第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会会议摘要集.2013-08-15

[10]王行行;陆文琪;.离子能量分析器的ANSYS模拟及优化[A].第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会会议摘要集.2013-08-15

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承担国家科研项目 共找到1个

[1]陆文琪;.硼碳氮体系等电子浓度规律及其薄膜合成研究[A].大连理工大学;.项目经费 27万元.2005-03-31.资助文献数 2 篇

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【姓名】	陆文琪
【职称】
【研究领域】	物理学;工业通用技术及设备;材料科学;
【研究方向】
【发表文献关键词】	鞘层,等离子体鞘,发射探针,激光等离子体诊断,差分发射探针,微波ECR等离子体,等离子体电位,平面磁控溅射靶,能量分布,反应磁控溅射,空间分布,全方位氮离子注入,体电势,微波等离子体,偶联,Ni/γ-...
【工作单位】	大连理工大学
【曾工作单位】	大连理工大学;
【所在地域】	大连

今年新增/文献篇数	核心期刊论文数	基金论文数	第一作者篇数	总被引频次	总下载频次
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