李声
【姓名】 李声
【职称】
【研究领域】 金属学及金属工艺;
【研究方向】
【发表文献关键词】 基片负偏压,相组,等离子体增强,磁控,溅射,TiN涂层,铁基体,钛中间层,PEMS,基片偏压,中间层,离子镀,层相,取向关系,电子衍射花样,溅射现象,交接处,沉积速率,王玉,大连理工大学,
【工作单位】 大连理工大学
【曾工作单位】 大连理工大学;
【所在地域】
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[1]王玉魁，李声，李秀兰，高路斯，韩会民.基片负偏压对PEMSIP法铁基体TiN涂层相组成的影响[J]材料科学与工程.1995,(04)
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