松本武
【姓名】 松本武
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 基片偏压,硬碳膜,纳米硬度,溅射,摩擦特性,薄膜结构,摩擦磨损特性,纳米压入仪,碳靶,氩等离子体,X射,HRTEM,电子回旋共振,线光,膜层厚度,电子能,闭式,摩擦磨损,透射电子显微镜,谱仪,
【工作单位】 大阪大学
【曾工作单位】 大阪大学;
【所在地域】 大阪
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[1]蔡长龙,刁东风,三宅正司,松本武.基片偏压对MCECR溅射硬碳膜特性的影响[J]光子学报.2005,(05)
[2]蔡长龙,刁东风,三宅正司,松本武.采用MCECR等离子体溅射方法制备硬碳膜[J]真空.2005,(04)
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