刘红星
【姓名】 刘红星
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;化学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 PMIP,抗蚀剂,聚甲基异丙烯基酮,深紫外,灵敏度,曝光特性,正性抗蚀剂,辐照,真空,不同气氛,分子量分布,深紫外曝光,显影条件,氧气,温度,灵敏度降低,分子迁移,学高,分子材料,扩散因素,
【工作单位】 成都科技大学
【曾工作单位】 成都科技大学;
【所在地域】
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/2 0 0 0 0 47
中国期刊全文数据库    共找到2篇
[1]陈杨中,刘红星,徐僖.氧气和温度对聚甲基异丙烯基酮抗蚀剂特性的影响[J]微细加工技术.1984,(03)
[2]陈扬中;刘红星;徐僖;陈世矩;.用傅里叶变换红外光谱研究PMIPK的固相光化学反应[J]成都科技大学学报.1984,(02)
更多