张定华
【姓名】 张定华
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 表面活化,抗蚀剂,电子束制版,吸附物质,新方法,电于束,表面活化处理,半导体工艺设备,表面层,粘附性,基片表面状态,净化室,不良现象,粒子,溅射设备,微细加工,物质粒子,化学吸附,完好率,物理吸附,
【工作单位】 长沙半导体工艺设备研究所
【曾工作单位】 长沙半导体工艺设备研究所;
【所在地域】
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[1]张定华,赵胜林,张海林,蔡守民.表面活化新方法[J]微细加工技术.1983,(01)
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