杨建生
【姓名】 杨建生
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 液态金属离子源,聚焦离子束,能量散度,发射电流,半导体工艺设备,引出电压,离子源,射针,外层电子,针型,场电离,液态金属,场致发射,发射器,发射体,场蒸发,原子,总发射,引出电极,电流强度,
【工作单位】 长沙半导体工艺设备研究所
【曾工作单位】 长沙半导体工艺设备研究所;
【所在地域】
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[1]朱一心,黄焕文,何喜冠,杨建生,宗庆,余永雄,贾京英.聚焦离子束装置用的镓液态金属离子源的研制[J]微细加工技术.1985,(02)
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