杨基南
【姓名】 杨基南
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 电子回旋共振(ECR),化学气相沉积(CVD),连续处理,PCVD,金刚石薄膜,多室,新器件,连续式,微波等离子体化学气相沉积,低温等离子体,新材料,磁约束,金刚石,拉曼谱,半导体工艺设备,金刚石膜,...
【工作单位】 长沙半导体工艺设备研究所
【曾工作单位】 长沙半导体工艺设备研究所;
【所在地域】 长沙
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[1]杨基南.低温等离子体连续处理技术[J]微细加工技术.1988,(01)
[2]孙亦宁;恽辉中;杨基南;廖佐升;吴京波;魏庆升;.电子回旋共振微波等离子化学气相沉积金刚石薄膜[J]真空与低温.1992,(04)
[3]孙亦宁,恽辉中,杨基南,廖佐升,吴京波,魏庆生.磁约束微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜[J]微细加工技术.1992,(02)
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