徐道林
【姓名】 徐道林
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 离子注入机,离子光学系统,分析器,光纤控制,地址数据,离子源,高电位,数值数据,加速电压,离子流,联传,同步脉冲,离子束,光纤,宽脉冲,电路,偏转电压,计数电路,同步信号,关断,发送和接收,比较电路,...
【工作单位】 长沙半导体工艺设备研究所
【曾工作单位】 长沙半导体工艺设备研究所;
【所在地域】
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[1]徐道林.新型200keV离子注入机[J]仪器仪表学报.1984,(01)
[2]徐道林.离子注入机的光纤控制方案之一[J]微细加工技术.1986,(04)
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