田清平
【姓名】 田清平
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 俄歇电子能谱仪,微细加工技术,俄歇电子,俄歇,能级,俄歇过程,电子衍射仪,二次电子,表面分析,纵向分布,能量分辨率,硅衬底,原子,同轴,简化结构,分析器,自由原子,电子束,AES分析,单晶薄膜,离子束...
【工作单位】 长沙半导体工艺设备研究所
【曾工作单位】 长沙半导体工艺设备研究所;
【所在地域】
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[1]田清平.俄歇电子能谱仪及其在微细加工技术中的应用[J]微细加工技术.1984,(02)
[2]田清平.俄歇电子能谱仪及其在微细加工技术中的应用[J]微细加工技术.1985,(03)
[3]俄歇电子能谱仪组,田清平.俄歇电子能谱仪的设计与调试[J]微细加工技术.1988,(01)
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