廖佐升
【姓名】 廖佐升
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;无线电电子学;自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 阻抗匹配网络,化学气相沉积(CVD),电子回旋共振(ECR),电气原理,金刚石薄膜,微波等离子体化学气相沉积,磁约束,金刚石,拉曼谱,半导体工艺设备,金刚石膜,设计思想,金刚石晶粒,PECVD,等离子...
【工作单位】 长沙半导体工艺设备研究所
【曾工作单位】 长沙半导体工艺设备研究所;
【所在地域】 长沙
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[1]李华胜,廖佐升.带多个阻抗匹配网络的rf电源[J]微细加工技术.1988,(02)
[2]孙亦宁;恽辉中;杨基南;廖佐升;吴京波;魏庆升;.电子回旋共振微波等离子化学气相沉积金刚石薄膜[J]真空与低温.1992,(04)
[3]孙亦宁,恽辉中,杨基南,廖佐升,吴京波,魏庆生.磁约束微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜[J]微细加工技术.1992,(02)
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