电子衍射仪组
【姓名】 电子衍射仪组
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 反射式高能电子衍射,分子束外延,技术指标,工作原理,调试结果,电子衍射仪,电子束,衍射花样,透射式,加速能量,反射式,电子波,透镜,极靴,荧光屏,束斑,衍射镜,消象,球差,衍射斑点,
【工作单位】 长沙半导体工艺设备研究所
【曾工作单位】 长沙半导体工艺设备研究所;
【所在地域】
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[1]电子衍射仪组,段虞贵.反射式高能电子衍射仪的研制和调试[J]微细加工技术.1988,(01)
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