陈亚光
【姓名】 陈亚光
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 离子注入机,离子源,B型,放电功率,束流强度,引出电压,PIG离子源,中能离子,单原子,电荷态,阴极,离子流强度,注入机,流强,束流,气压,总束流,引出系统,阳极,离子流,电离效率,源结构,工业部,研...
【工作单位】 长沙半导体工艺设备研究所
【曾工作单位】 长沙半导体工艺设备研究所;
【所在地域】
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[1]陈亚光.一种新型离子源——LY-3型离子源[J]微细加工技术.1985,(02)
[2]LC—2B机组,陈亚光.LC—2B型中能离子注入机[J]微细加工技术.1988,(01)
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