詹权松
【姓名】 詹权松
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 多孔硅,多孔氧化硅,硅氧化,多孔性,结隔离,电流密度,隔离扩散,外延层,腐蚀速率,P型,隔离区,寄生参量,隔离特性,多孔硅氧化隔离,隔离耐压,隔离技术,高集成度,隔离性,绝缘物,阳极,
【工作单位】 成都电讯工程学院
【曾工作单位】 成都电讯工程学院;
【所在地域】
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[1]詹权松.多孔性硅氧化隔离的研究[J]半导体技术.1977,(04)
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