向勇
【姓名】 向勇
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 电导率,a-Si,本征,硅烷法,工艺条件,基本原理,沉积原理,离子团,反应室,沉积速率,椭偏仪,生长工艺,非晶半导体,衬底材料,衬底温度,工程学院,温度,能源材料,薄膜器件,可动离子,
【工作单位】 成都电讯工程学院
【曾工作单位】 成都电讯工程学院;
【所在地域】
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[1]惠恒荣,向勇,周大龙,张小平,李梅.α-Si:H薄膜的制备及掺杂样品电导率[J]半导体技术.1988,(02)
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