秦洪根
【姓名】 秦洪根
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 四极质谱计,分子束外延,喷射炉,检漏,残余气体,分子束,油蒸汽,质谱图,生长室,氦质谱探漏仪,峰高,束流强度,升华泵,超高真空,粘附系数,离子泵,气质谱,系统检漏,灵敏度校正,薄膜生长,
【工作单位】 长沙半导体工艺设备研究所
【曾工作单位】 长沙半导体工艺设备研究所;
【所在地域】
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[1]秦洪根.四极质谱计在分子束外延中应用[J]微细加工技术.1985,(04)
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