黄厚科
【姓名】 黄厚科
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 全息图,合成全息图,制作合成,曝光技术,应用电子,富里叶变换,再现象,抗蚀剂,半导体工艺设备,合成全息,电子束曝光,物体,电子束,负性电,铬版,矩孔,电子束曝光技术,电于束,电子束曝光机,孙周,
【工作单位】 长沙半导体工艺设备研究所
【曾工作单位】 长沙半导体工艺设备研究所;
【所在地域】
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[1]金国潘,严瑛白,余东校,黄厚科,孙周雄.应用电子束曝光技术制作合成全息图[J]微细加工技术.1985,(01)
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